Liên hệ tư vấn

Mr. Tú

tu@pitesvietnam.com

0916597556

0961672728

live:.cid.2401b3b84ed53262

pites.automation

Thông tin sản phẩm
Thông số kỹ thuật

ZIROX Vacuum Probe Zirox Vietnam, Zirox Việt NAm, Đại lý Zirox Vietnam

Đầu dò oxy chống chân không cho PVD hoặc phún xạ Magnetron

Thông tin chung

Phần chính của đầu dò chân không ZIROX là một tế bào điện phân rắn zirconia chiết áp.
Do áp suất riêng phần oxy khác nhau (bên trong và bên ngoài thiết bị nhận chân không), điện áp xuất hiện giữa điện cực đo và điện cực so sánh. Điện áp này tỷ lệ với logarit
của áp suất riêng phần oxy. Từ điện áp tế bào, áp suất riêng phần oxy tại điện cực đo có thể được tính theo phương trình NERNST.

Đầu kết nối chứa các thiết bị điện tử để điều khiển lò sưởi và xử lý tín hiệu và bơm màng để cung cấp khí chuẩn.

Các ứng dụng

Đầu dò chân không ZIROX phục vụ cho việc xác định áp suất riêng phần oxy trong thiết bị áp suất thấp. Ví dụ điển hình là các phép đo trong các quá trình chân không (PVD, phún xạ magnetron hoặc các quá trình plasma khác), trong các ứng dụng xử lý bề mặt cũng như các phép đo cho các nghiên cứu khoa học vật liệu.

Ghi chú:

Ngược lại với đầu dò áp suất bình thường ZIROX, đầu dò chân không không được hiệu chuẩn. Nguyên nhân là do bộ gia nhiệt cảm biến đặc biệt (bên trong ống thăm dò) và một số điều kiện ở điện cực đo (loại bỏ năng lượng phụ thuộc vào áp suất khí và độ dẫn nhiệt). Do đó, các điện cực đẳng nhiệt, được yêu cầu để sử dụng đúng phương trình NERNST, không thể thành hiện thực. Tuy nhiên, để kiểm soát quá trình, việc sử dụng các giá trị được xác định theo kinh nghiệm là đủ trong hầu hết các trường hợp. Đối với phép đo áp suất riêng phần oxy, người sử dụng phải hiệu chuẩn đầu dò (phép đo thử nghiệm).

Dữ liệu kỹ thuật Đầu dò chân không

Chiều dài xây dựng	140 ... 300 mm
Đường kính	6 mm, với ống bảo vệ 16 mm
Khối lượng	1,5 kg
Đầu kẹp kích thước	150 x 63 x 35 mm
Trình độ bảo vệ	IP54
Mặt bích	KF40, những người khác theo yêu cầu
Tối đa nhiệt độ ở mặt bích	60 ° C
Nguồn cấp	24 V DC +/- 10%
Mức tiêu thụ hiện tại	1,2 A
Lò sưởi	30 W
Phạm vi áp	1,5 x 10 5 ... 1 x 10 -5 Pa
Dải điện áp cảm biến	0 ... 400 mV oder 0 ... 1200 mV (dải thay đổi trên bảng mạch)
Phạm vi (áp suất riêng phần oxy)	1 x 10 5 ... 1 x 10 -21 Pa
Tín hiệu đầu ra	0-20 mA
Sự chính xác	<5% rel. lỗi
Cảm biến nhiệt độ làm việc	700 ° C (điều khiển điện tử)
Offset (với tay áo bảo vệ)	-15 ...- 20 mV
Tỷ lệ rò rỉ khí heli	<10 -8 mbar l / s
Lưu lượng gas	tối đa 10 m / s
Khí tham khảo	không khí xung quanh
Dòng khí tham chiếu	5 ... 10 l / h (bằng bơm bên trong)

Chỉ định phích cắm
(Typ 423 6pol., Fa. Binder, Best.-Nr: 99-5622-15-06):

1	+ 24 V
2	GND
3	+ Iout	20 mA tương ứng với 400 hoặc 1200 mV (như đã điều chỉnh)
4	- Iout	20 mA tương ứng với 400 hoặc 1200 mV (như đã điều chỉnh)
5	Sẵn sàng liên hệ (có thể miễn phí)	60V / 1A DC hoặc 125V / 1A AC
6	Sẵn sàng liên hệ (có thể miễn phí)	60V / 1A DC hoặc 125V / 1A AC