Để bảo vệ quá trình và chất lượng tối ưu, việc tránh ôxy, cũng như các vết, là cần thiết trong nhiều ứng dụng công nghệ. Do việc áp dụng ngày càng nhiều các hệ thống quản lý chất lượng (ví dụ ISO 9000), việc giám sát liên tục và lập hồ sơ các thông số chất lượng trở nên quan trọng hơn. Mô-đun đo oxy ZR5 dựa trên công nghệ zirconia đã được phê duyệt. Nó phục vụ việc đo liên tục nồng độ oxy trong khí công nghiệp và phòng thí nghiệm và theo dõi khí bảo vệ. Sự sai lệch của nồng độ oxy từ các điểm đặt có thể được báo hiệu, mô-đun ZR5 có thể giám sát quy trình của các quy trình sản xuất đặc biệt trong khí trơ.